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二级单位招标公告

电子束蒸发镀膜仪采购信息公示

发布时间:2020-05-12 浏览次数:

电子束蒸发镀膜仪采购信息公示

我校近期拟对“电子束蒸发镀膜仪”启动采购程序,为充分创造条件让供应商参与我校采购项目,根据《政府采购信息发布管理办法》(财政部令〔2019101号)、《关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔202010号)精神,现将有关该项目的主要用途、功能及使用目的、采购需求(技术参数、主要配置、售后服务等)进行公示。详见附件一:采购需求书。

本次公示是本单位采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

如有异议,请于本公示后五日内,书面送(寄)达我处,逾期不予接受。

联系方式:

使用单位:机械学院  程广贵:13852901930

实验室与设备管理处:杨蔚  0511-88791357

地址:镇江市学府路301号行政2号楼418

江苏大学实验室与设备管理处

2020512

附件一:采购需求书

一、项目概况及总体要求

1.立项依据

电子束蒸发镀膜系统是进行微纳加工特别是高质量超薄(纳米级别)金属薄膜蒸镀的重要设备,特别是针对难熔金属,如钛,以及金属氧化物。单子束蒸发通过阴极发射高能电子束将靶材上的原子轰击出来,原子在通过一段真空后到达基底表面并均匀附着在待镀膜样品的表面。设备可通过监控膜厚和镀率自动反馈电子束功率,从而达到自动,精确控制的目的。可满足实验室对高精度、高质量薄膜沉积的需求,是制作纳米器件、贵金属电极的必备设备之一。

面向我院科研需求,形成优势队伍,构建创新平台,突破关键技术,形成具有特色和优势的学科体系,提供创新性的科技成果与平台。

(1) 该设备是柔性机械电子公共研发平台设备,添置后将为学校、学院相关团队从事薄膜材料与器件研究提供重要的支撑,助推学校学科发展。

(2) 利用该平台进行的学科方向研究,研究内容和领域为世界前沿,涉及多个学科交叉融合,将带动本省高端材料、先进制造技术等领域的发展,取得显著的社会经济效益。

2.采购预算(最高限价)及编制依据

采购预算:110万(机械学科第三期优势学科建设经费)。

编制依据:根据市场调研结果和设备学院论证结果进行编制。

二、采购用途

采购用途:R科研 □教学 □医疗 □管理 □后勤 □其他

用途说明:智能柔性机械电子公共研发平台设备,衬底表面结构均匀的电极材料是保证柔性可拉伸机械电子器件高可靠性、高灵敏度的重要手段,主要用于大面积柔性衬底电极材料制备,此外该设备还可以应用于半导体设备、刀具涂层、减摩耐磨薄膜等研究。

三、采购需求一览表(货物类):

序号

货物名称

是否为进口设备

单位

数量

是否属核心产品

1

电子束蒸发镀膜仪

1

四、技术指标(按一览表中货物分别填写)

1. 电子束蒸发镀膜仪 1 台或套)

序号

指标项

重要性

指标要求

关键指标理由

主要技术指标

1

1.1

蒸发源功率10kW;蒸发源位置在中央点,采用欧美日进口产品,电源不小于5kW

1

1.2

基板为6英寸或更小的片子,采用公转方式,

1

1.3

主排气系统为冷泵及机械泵组成,冷泵自动再生,前级泵采用欧美日进口产品。

1

1.4

腔内最高温度200 200,采用   SCRPID 控制

1

1.5

系统具备自动排气、自动镀膜功能。

2

2.1

终端压力:3X10-7Torr以下(12hours),排气时间:3X10-6Torr (主阀打开20分钟),主阀可设定半开和全开

决定设备制造质量

2

2.2

腔体尺寸500x500x600,材质SUS304采用卤素灯加热,基板加热 MAX 250温度均匀性200±10

2

2.3

膜厚均匀性:Within WaferWafer to   WaferRun to Run均需达到 ± 5﹪以下

决定设备的制造精度

2

2.4

膜厚监控采用:CRTM-9200

晶振探头两个

真空度监控:

高真空计:1(采用欧美日进口产品)量测范围:10-3~10-9   mbar低真空计:2 (采用欧美日进口产品)量测范围:1000~10-4 mbar

决定设备制造精度

2

2.5

质量流量计;O250sccm(采用欧美日进口产品)

2

2.6

预留改装柔性基板的空间

决定设备可拓展性

2

2.7

操作系统

A)PC+PLC方式。

B)采用正版软体。

C)可纪录参数趋势图可局部放大、移动,游标线可显示趋势 图特定点资料之数值

D) 记录项目: 镀膜功率

膜的生长速率、厚度、腔室温度值、真空度、基片旋转速度等

: 表中“★”代表关键指标,不满足该指标项将导致响应被拒绝;

工程类须另附:施工图纸、工程量清单、主材清单(如有)、控制价等。

五、商务和服务需求

序号

商务和服务项目

重要性

商务和服务要求

1

供货期

3个月

2

质保限

1年

3

原厂售后

服务承诺

1年免费保修、电话报修后24小时上门服务、12小时内排除故障、原厂工程师(及以上)服务的原厂商售后服务承诺函;

4

服务标准

所有硬件1年免费保修、所有软件1年免费保修升级、电话报修后4小时上门服务、12小时内排除故障。

5

培训

提供不少于2天不少于10人的主要设备厂商(认证的)工程师安装配置等实操培训课程,场地、交通等与培训相关的费用均由成交供应商承担。

6

验收标准

各项指标合格

7

付款方式

货到验收合格后付全款的90%,余款10%质保期满后30日内付清。

六、特定资格条件

除《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的供应商应具备的条件外,采购人可以根据采购项目的特殊要求,规定供应商的特定资格条件,如国家或行业强制性标准等。但不得以不合理的条件对供应商实行差别待遇或者歧视待遇。

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