我校近期拟对“等离子体增强化学气相沉积系统”启动采购程序，为充分创造条件让供应商参与我校采购项目，根据《政府采购信息发布管理办法》（财政部令〔2019〕101号）、《关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）精神，现将有关该项目的主要用途、功能及使用目的、采购需求（技术参数、主要配置、售后服务等）进行公示。详见附件：采购需求书。

本次公示是本单位采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

如有异议，请于本公示后五日内，书面送（寄）达我处，逾期不予接受。

实验室与设备管理处联系人：夏老师，联系电话    0511-88791357。

实验室与设备管理处  

2026年 9月4日   

附件

采购需求书

一、项目概况及总体要求

（包括项目立项依据、采购预算（最高限价）及编制依据、总体要求等）

立项依据

近年来，学校在现代化农业装备、高端机械智能制造及机械电子技术领域持续投入科研力量和建设资源，深刻认识到农业装备智能化不仅依赖机械结构与控制技术的发展，也离不开先进材料、微纳器件、柔性传感器和集成电子制造技术的支撑。机械工程学院围绕智能农业装备、新能源装备、柔性机械电子及智能感知等方向开展了多方位研究，并已取得一系列科研成果。

新能源装备与柔性机械电子是机械工程学科的重要特色方向，其深入发展对农业装备智能感知、环境监测、能源采集、人机交互和高可靠电子系统的构建具有重要意义。相关研究涉及柔性传感器、薄膜器件、微纳电子器件、光伏器件、介电功能层、表面钝化层及封装阻隔层等多种结构，对薄膜材料的沉积温度、厚度均匀性、界面质量、绝缘性能和工艺重复性提出了较高要求。因此，高质量、低温、可控的薄膜制备设备已成为支撑相关科研项目持续推进的重要基础设施。

等离子体增强化学气相沉积系统是半导体器件、微纳制造和功能薄膜制备中的关键工艺设备。该设备通过射频电场激发工艺气体形成等离子体，利用其中活性粒子促进气相化学反应，可在相对较低的基片温度下沉积二氧化硅、氮化硅、非晶硅、碳化硅及其他介质或功能薄膜。与常规热化学气相沉积相比，PECVD具有沉积温度较低、成膜速率较高、膜层均匀性较好、工艺参数可调范围较宽及材料适应性较强等特点，特别适用于温度敏感基片和复杂器件结构。

本设备可用于制备SiO₂、SiNₓ、a-Si、SiCₓ及相关功能薄膜，并可通过调节射频功率、工艺压力、气体流量、气体比例和基片温度，对薄膜厚度、沉积速率、折射率、应力、致密度及绝缘性能进行调控。所制备薄膜可作为器件绝缘层、表面钝化层、介质层、光学膜、阻隔层、保护层、硬掩膜和功能敏感层，能够满足太阳能电池、柔性电子、微纳传感器、机械电子器件、光电器件及新能源装备等领域的研究需求。

等离子体增强化学气相沉积系统的引入，将显著提升学校在半导体薄膜、柔性器件和微纳电子制造方面的实验条件，完善薄膜沉积与器件加工工艺链，为科研人员提供稳定、可重复的介质及功能薄膜制备平台。同时，设备建设将促进机械工程、材料科学、电子工程、信息科学和新能源科学等学科之间的交叉融合，为高层次科研项目实施、研究生培养、科研成果转化及公共实验平台建设提供有力支撑。

本项目采购预算拟定为60万元，主要依据前期市场询价及兄弟院校同类设备购置价格综合测算确定。经对沈阳硕科、北京金盛微纳科技、沈阳搏锐源和沈阳思联等4家潜在供应商进行调研，同类磁控溅射真空镀膜设备报价约为50万元至70万元，结合高校和科研院所同档次国产设备公开采购价格，以及设备主机、电源、真空系统、基片加热、膜厚监测、控制系统、安装调试、运输保险、人员培训、验收测试、税费和质保服务等全部费用，适当预留配置完善和市场价格波动空间，最终将本项目采购预算确定为人民币60万元。

设备总体要求

本项目拟采购的等离子体增强化学气相沉积系统应为技术成熟、运行稳定、安全可靠的科研型薄膜制备设备，能够满足二氧化硅、氮化硅、非晶硅及其他介质或功能薄膜的低温沉积需求，并具备射频等离子体激发、基片加热、工艺气体精密控制、反应压力自动调节和真空沉积等基本功能。

设备整体设计应结构合理、操作方便，各组成部分之间匹配良好。系统至少应包括真空反应腔体、射频电源及自动匹配器、平行板电极或等效等离子体发生装置、加热样品台、喷淋式或均匀布气装置、真空泵组、真空测量装置、质量流量控制器、自动压力控制阀、冷却系统、控制软件和安全联锁系统。设备应具有良好的工艺稳定性和重复性，极限真空、抽气时间、工作压力、射频功率、基片温度、气体流量、沉积速率、膜厚均匀性及其他主要性能指标应达到采购文件和合同约定要求。控制系统应能够对工艺气体流量、腔体压力、射频功率、基片温度和沉积时间等参数进行设置、显示、记录和配方化管理，并具备运行状态监测、权限管理、故障诊断、异常报警和数据保存功能。真空泵、射频电源、自动匹配器、真空计、质量流量控制器、压力控制阀、温控器及控制系统等核心部件应采用质量可靠、性能稳定、便于维护且具有良好技术支持的成熟产品。设备应便于日常清洁、腔体维护和易损件更换，并应预留必要的维护空间和检修接口。

二、采购用途

采购用途：R科研  □教学  □医疗  □管理  □后勤  □其他

用途说明：

三、采购需求一览表（货物类）：

四、技术指标（按一览表中货物分别填写）

1.   等离子体增强化学气相沉积系统      （  1 台）

注: 表中“★”代表关键指标，不满足该指标项将导致响应被拒绝;

工程类须另附：施工图纸、工程量清单、主材清单（如有）、控制价等。

五、商务和服务需求

六、特定资格条件

除《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的供应商应具备的条件外，采购人可以根据采购项目的特殊要求，规定供应商的特定资格条件，如国家或行业强制性标准等。但不得以不合理的条件对供应商实行差别待遇或者歧视待遇。