我校近期拟对“磁控溅射镀膜机”启动采购程序，为充分创造条件让供应商参与我校采购项目，根据《政府采购信息发布管理办法》（财政部令〔2019〕101号）、《关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）精神，现将有关该项目的主要用途、功能及使用目的、采购需求（技术参数、主要配置、售后服务等）进行公示。详见附件：采购需求书。

本次公示是本单位采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

如有异议，请于本公示后五日内，书面送（寄）达我处，逾期不予接受。

实验室与设备管理处联系人：夏老师，联系电话    0511-88791357

实验室与设备管理处  

2026年 9月4日   

附件

采购需求书

一、项目概况及总体要求

立项依据

近年来，学校在现代化农业装备领域倾注了大量心血与资源，深刻认识到农业装备现代化进程与高精端机械智能制造及机械电子技术的紧密关联。机械工程学院积极响应这一需求，致力于推动农业装备向智能化时代迈进，通过多方位的研究探索，已取得了显著的科研成果。

新能源装备与柔性机械电子作为机械工程学科的鲜明特色方向，其深入发展对于农业装备智能化的实现具有重要意义。为了支撑这些前沿项目的持续推进，高精度的可集成电子制造设备成为不可或缺的基础设施，其中磁控溅射设备以其独特的优势占据了核心地位。

磁控溅射设备，作为半导体器件工艺中的关键一环，广泛应用于半导体薄膜、金属电极及光学薄膜等材料的研发与生产。在高真空环境中，该设备通过精确控制材料的加热与沉积过程，能够在衬底上构建出高质量的化合物、混合物单层或多层膜，甚至形成复杂的金属或合金电极结构，这对于太阳能电池，特别是新型薄膜太阳能电池的制备而言，是不可或缺的关键设备。同时，它在机械电子、柔性电子及光伏器件等多个领域也展现出了广泛的应用前景。

磁控溅射镀膜仪的引入，不仅将极大提升学校在半导体器件制造方面的技术实力，还将促进材料科学、机械工程、电子工程与信息科学等多个学科之间的交叉融合与协同创新。这种跨学科的合作与交流，有助于打破学科壁垒，激发新的科研灵感，从而推动学校在相关领域取得更加丰硕的成果，为学校的科研创新、学科建设及地区发展注入新的活力与动力。

本项目采购预算拟定为70万元，主要依据前期市场询价及兄弟院校同类设备购置价格综合测算确定。

设备总体要求

本项目拟采购的磁控溅射真空镀膜设备应为技术成熟、运行稳定、安全可靠的科研型薄膜制备系统，能够满足金属、合金、磁性材料、氧化物、介质材料及多层复合薄膜的制备需求，并具备直流溅射、射频溅射、基片旋转、工艺气体控制和高真空镀膜等基本功能。设备整体设计应结构合理、操作方便，主要部件之间匹配良好，具备完善的真空测量、冷却、自动控制、安全联锁、异常报警和停机保护功能；磁控靶、电源、真空泵、真空计、质量流量控制器及控制系统等核心部件应采用质量可靠、便于维护的成熟产品。设备应具有良好的工艺稳定性和可重复性，极限真空、抽气时间、工作压力、基片尺寸、膜厚均匀性及其他性能指标应达到采购文件和合同约定要求。供应商应负责设备的设计、制造、运输、安装、调试、试运行和验收，提供完整的中文技术资料、操作培训、工艺指导及售后服务，确保设备交付后能够正常、安全、连续运行。设备及配套附件应为全新、未使用产品，符合国家有关电气、机械、真空和实验室安全标准，报价应包含设备主机、配套附件、运输保险、安装调试、人员培训、验收测试、税费及质保期内服务等全部费用。

二、采购用途

采购用途：R科研  □教学  □医疗  □管理  □后勤  □其他

用途说明：

三、采购需求一览表（货物类）：

四、技术指标（按一览表中货物分别填写）

1.   磁控溅射镀膜仪  （  1 台）

注: 表中“★”代表关键指标，不满足该指标项将导致响应被拒绝;

工程类须另附：施工图纸、工程量清单、主材清单（如有）、控制价等。

五、商务和服务需求

六、特定资格条件

除《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的供应商应具备的条件外，采购人可以根据采购项目的特殊要求，规定供应商的特定资格条件，如国家或行业强制性标准等。但不得以不合理的条件对供应商实行差别待遇或者歧视待遇。