1

三维轮廓仪

否

套

1

是

一、

基本配置

基本配置

1

技术原理

★

阵列螺旋微孔转盘共聚焦扫描

2

相机像素:

1024×1024mm，≥100W像素

3

光源

白光LED；

4

物镜转塔参数:

  至少5孔电动物镜塔台

5

物镜配置：

5X、10×、20X、50X（APO）、100X（APO）各一个

6

XY位移台：

行程100×100mm，电动控制，配置360°手动旋转盘

7

Z轴行程:

100mm，电动控制

8

校准模组：

5μm台阶高标准块、超光滑标准块

9

显示分辨率：

0.1nm

10

品牌计算机

CPU i7，32G内存，512G固态存储+1T硬盘，12G RTX3060独立显卡，24英寸液晶显示器

二、

技术规格

技术规格

1

Z向扫描范围

≥10mm；

2

台阶高度测量精度

≤1%（5μm台阶高标准块）；

3

台阶高度测量重复性

≤12nm（5μm台阶高标准块）；

4

宽度测量重复性

≤40nm

三、

产品功能：

产品功能：

2

影像测量功能

支持在实时视窗上直接进行平面轮廓尺寸的影像测量，点、线间的长度、角度、直径等参数的测量，支持模板快速测量；

3

单区域自动测量

单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现条纹自动搜索、扫描范围自动设置、自动测量与自动分析等功能；

4

多区域自动测量

支持Mark点定位识别，支持以圆形或方形阵列形式设置的数百多个测量点位，支持每个测量区域的分析模板单独设置或批量设置，支持每个测量区域的扫描范围自动设置；

5

自动拼接测量；

支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，单独设置每个小区域是否参与拼接测量，每个测量区域均为自动设置扫描范围，支持数千张图像的无缝拼接测量；

6

编程测量功能

支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动测量功能，实现一键测量；

7

数据处理功能

提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中包含去除指定半径和曲面方向的球体去除和柱面去除功能；

8

数据分析功能

★

提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，还包含透明微球壁厚自动分析功能、阵列弹坑深度自动分析功能、非球面系数自动分析功能、绒面阵列金字塔自动统计分析功能、栅线深宽度自动识别分析功能。

9

批量分析功能

可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；

10

数据报表导出

支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、轮廓曲线、数值结果的导出；

11

软件版本

测量和分析部分均为自主开发，提供免费的全分析功能版本离线软件，支持无限制复制使用

12

光源安全功能：

光源设置无人值守下的自主休眠功能，当检测到设置的时间内未进行操作时光源会自主进入休眠状态，防止光源高亮过热损坏，有效延长光源使用寿命；

13

镜头安全功能

★

双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且下移逼近该位置时伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。