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多功能X射线光电子能谱仪

是

套

1

是

1

单色化XPS系统

重要

1.1、真空系统

1.1.1 分析室：真空腔为纯μ金属制造，真空度应≤5.0×10^-10   mbar；

1.1.2 分析室真空系统：配备独立的机械泵，分子涡轮泵及钛升华泵；

1.1.3 进样室：真空度应：≤7.0×10^-9 mbar；

1.1.4 进样室真空系统：配备独立的涡轮分子泵和机械泵；

▲1.1.5原厂制备室：与进样室直接连接，配备独立的涡轮分子泵和机械泵，烘烤后真空度优于7.0×10^-9 mbar，（需提供同型号仪器验收报告为证，并提供现有用户信息和联系方式）；

1.1.6 进样方式：采用磁浮式无摩擦进样杆，确保互联反应系统的传样效率和稳定性；

1.1.7烘烤系统：烘烤12小时并完成除气；

1.1.8 超高真空监测装置：配置超高真空阴极离子规一套；

1.2、多功能样品停放台

1.2.1 五轴样品台，即X、Y、Z移动，倾斜及旋转。移动范围：X方向不小于50 mm，Y方向不小于20mm，Z方向不小于10 mm。移动精度：≤1μm；倾斜范围：以水平方向为轴-90º~ +60º倾斜，倾斜精度: ≤1º；

1.2.2软件控制变焦CCD摄像机在不同的放大倍率下实时观察、精确定位和截取图像；通过实时成像系统确定分析位置，可自动确定最佳的分析高度；

1.2.3 进样室带有多层样品停放台，实现每次至少放置三个样品台功能；

1.2.4 进样室提供定位相机：可在抽真空时对分析样品定位，真空度达到后转入分析室实施无人值守的全自动分析（包括全谱、高分辨谱和自动确定样品最佳分析高度）；

1.2.5 样品制备室带有多层样品停放台，实现每次至少放置三个样品台功能；

1.2.6提供多种类使用的样品条，包括组合型样品条、双高度样品条和旋转样品条等；

1.3、单色化X射线源

1.3.1 射线源类型：单色化Al Kα X射线源，电子束具备聚焦功能；

1.3.2 功率要求：优选低功率获取高灵敏度的设计，避免高功率对靶材、灯丝、分析室真空度等造成负面影响；

1.3.3分析尺寸范围（非成像尺寸）至少满足20～900μm，且可选规格至少≥12档（需提供同型号仪器验收报告为证，并提供现有用户信息和联系方式）；

▲1.3.4源束斑尺寸大小可调，且可选规格至少≥7档（需提供同型号仪器验收报告为证，并提供现有用户信息和联系方式）；

1.3.5阳极靶更换前应可提供≥19个工作点使用；

1.3.6最佳能量分辨率和灵敏度：对Ag3d_5/2峰，半高宽≤0.43 eV时，灵敏度≥90 kcps；

★1.3.7常规能量分辨率和灵敏度：对Ag3d_5/2峰，半高宽≤0.45 eV时，灵敏度≥160 kcps；对Ag3d_5/2峰，半高宽≤0.60 eV时，灵敏度≥1800 kcps；

1.4、能量分析器

1.4.1采谱能量分析器：外罩为纯 μ 金属制造；

1.4.2能量扫描范围至少满足：0～4500 eV，确保多功能分析时无需切换分析器；

1.4.3通过能范围：1～400eV，并可连续调节，最小调节步长≤1eV；

★1.4.4同时具备磁透镜模式及静电透镜模式，具有ISS分析功能；

1.4.5分析模式：固定分析器能量(CAE)和固定减速比(CRR)两种模式，CAE模式下20 meV 至 8 eV可调，CRR模式下0.02% 至 2.0% 可调，能量分辨率优于0.05%；

1.5、检测器

▲1.5.1 结构：包含采谱及成像两个独立的检测器，各自针对XPS采谱和XPS成像优化；

1.5.2 采谱检测器：多通道光电倍增器；单个通道损害后支持单独维修，不需要整体更换；

1.5.3 成像检测器：由256×256通道的多通道板和二维连续位置检测器组成；具备平行成像功能，对边缘锐利的刃口样品线扫描的最佳空间分辨率≤3 μm；

1.6、自动化荷电中和系统

▲1.6.1 类型：配置双束中和源，同时具备电子和离子中和能力；

1.6.2 能量分辨率和灵敏度：对PET绝缘样品，O-C=O的C   1s峰半高全宽@C-C/C-H的C 1s峰强度至少满足：0.68eV@20kcps、0.82eV@60kcps; （需提供同型号仪器验收报告为证，并提供现有用户信息和联系方式）；

1.7、离子枪模块

1.7.1 用于深度刻蚀和表面清洁的氩离子源，计算机控制，在低束能下保持高通量，能自动校准束斑、能量等参数；

1.7.2 能量范围：200-4000 eV；

1.7.3 离子束可控轴向旋转；

1.7.4 束斑可调，自动对中；

1.8、紫外光电子能谱功能

1.8.1光源：He紫外光源；

1.8.2 最佳能量分辨率和灵敏度：对Ag费米边，能量分辨率≤100 meV时；灵敏度（Ag4d）≥1,000,000   cps；

1.8.3 配有满足绝缘样品UPS分析时荷电中和需要的离子束中和源，可在静电模式下对样品进行有效的荷电中和；

1.8.4 紫外光源与离子枪可同时工作，具备样品进行UPS测试时深度剖析功能；（需提供实测数据佐证）

1.9、角分辨XPS功能

1.9.1 角分辨XPS用精控步进马达样品托，角度分辨优于1°；

1.9.2 内置角分辨XPS数据处理功能，并能实现膜厚计算等功能；

1.10、离子散射谱功能

1.10.1 功能要求：可实现材料最表层1-2个原子层元素检测；

1.10.2 能量分辨率和灵敏度：在1 keV He离子作用于清洁金表面，能量分辨≤12eV时，灵敏度应≥25,000 cps/nA；

1.11、反射电子能量损失谱功能

1.11.1功能要求：可实现氢元素的定性定量，及半导体材料带隙测试；

1.11.2激发源：提供与静电传输透镜同轴的高能电子枪，且激发能量大小可调；

1.11.3能量分辨率和灵敏度：对于干净的银样品，能量分辨率≤0.5eV时，灵敏度应≥1000kcps；

1.12、加热制冷附件

1.12.1分析室配置加热附件和控制软件；

1.12.2温度调节范围满足：室温～1000K，可保恒温；

1.13、超高真空光纤导入装置

1.13.1满足超高真空要求，能够用于1×10^-10Torr的真空环境，安装接口为Φ2.75英寸CF法兰，需与XPS分析室兼容；

1.13.2搭配线性伸缩和调节组件，用于调节样品和光纤的相对位置及距离，且束斑大小调节；

1.13.3空气端接口为标准SMA905接口，兼容常规激光器和紫外光源接口；

1.14、谱仪控制和数据处理系统

1.14.1谱仪控制软件：谱仪参数设置，系统软件应实现可视化操作；分析部件均可通过系统软件控制；系统软件具备可视化操作界面，实现对真空泵、阀门、真空规、离子枪、中和枪以及加热冷却等的控制；所有进气阀门均可通过软件控制实现自动化开启和关闭；

1.14.2处理软件：随系统计算机一台，预装数据采集和处理软件包数据处理方法：定性分析、定量分析、曲线拟合等需具备SMART本底扣除方法；

1.14.3 数据库：包括完整的REELS和ISS数据库；ARXPS角分辨处理软件、超薄多层膜拟合模块；实验数据（原始数据及分析结果）可存为通用格式，并能导入Microsoft Office 软件，软件的数据处理部分，可在其他计算机上安装使用；

1.14.4 提供嵌入数据分析软件中的XPS标准数据图库以及化合物结构鉴定数据库，可直接从软件中调用标准谱库的标准谱图原始数据，便与实际采集谱图进行比较；

1.15、备件及辅助设备

1.15.1消耗品备件包一套，至少包括但不限于以下内容：Al单色阳极套件*1，单色阳极灯丝*1，荷电中和器套件*1，离子枪灯丝套件*1，钛升华泵灯丝套件*3，机械泵油4升，循环水滤芯2个，导电胶带2卷，离子枪喷嘴1个等；

1.15.2循环冷却水系统：品牌循环冷却系统，满足阳极靶、涡轮分子泵和石英单色器冷却的需要；

1.15.3不间断电源系统：配备进口隔离变压器的稳压不间断电源一套，保证仪器可持续运行2小时；

1.15.4空气/水份敏感样品转移仓一套，可完全放置于仪器主机的进样仓内，具有高真空密封组件，可保持1×10^-2 mbar真空度，时间不短于5小时；

1.15.5 电动压片机1套：用于压制XPS样品；

1.15.6 真空干燥箱1台；

1.15.7 计算机1台：至少I7 CPU，8GB内存，硬盘1TB，27”显示器，DVD-RW可擦写光驱，Windows 10 OS；

1.15.8复合打印机（包含彩色激光打印、复印、扫描和无线传输等功能）。

核心参数

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超高真空传样和原位反应系统

重要

2.1、圆形传样系统

▲2.1.1 圆形传样腔超高真空腔体（需提供至少三个国内用户的交付案例（包含现场实物图），并提供用户信息和联系方式）；

2.1.1.1尺寸：直径600-800mm；

2.1.1.2材质：符合超高真空标准的不锈钢；

2.1.1.3腔体：有符合超高真空要求的不同尺寸法兰口；

2.1.1.4配备超高真空视窗（至少2个）、超高真空法兰、XPS转接模块等；

2.1.1.5真空度：极限真空优于5×10^-10   mbar；

2.1.2 传样机械臂及样品抓取装置

2.1.2.1安装法兰：CF200；

2.1.2.2转自由度：360度连续旋转；

2.1.2.3伸出臂长：大于1100mm；

2.1.2.4移动行程：大于850mm，伸出法兰口距离不低于800mm；

2.1.2.5旋转精度：优于0.1度；

2.1.2.6线性伸缩精度：不超过0.1mm；

2.1.2.7最大负载：1kg；

2.1.3马达控制模块及软件

2.1.3.1传样臂Z方向移动，50mm行程；

2.1.3.2传样臂在腔体内的360度准确定位旋转；

2.1.3.3包含马达控制软件，实现自动控制；

2.1.4.超高真空抽气系统

2.1.4.1离子泵：200L/s抽速，包含控制器；

2.1.4.2吸附剂泵：400L/s抽速，包含控制器；

2.1.5超高真空测量系统

2.1.5.1真空规：测量范围2×10^-11   mbar 至 1×10^-3   mbar，包含控制线；

2.1.5.2真空规控制器：压力范围：大气压～超高真空 (1×10^-11   mbar)，测试通道≥6；

2.2、高温高压催化反应池

2.2.1连接方式：采用超高真空闸板阀与圆形传样系统连接;

2.2.2反应釜：由惰性石英作为高温承压容器，可以作为封闭反应池或流动池，提供控压，控流速和混气的反应供气系统；

2.2.3加热方式：红外辐射加热；

2.2.4反应釜温度和压力：最高温度1200K，最大反应压力10 bar，涵盖600℃@4bar，400℃@6bar的反应条件；

2.2.5带PID温控，控温精度优于1℃；

2.2.6可使用气体：H₂、O₂、H₂O、CO₂、CH₄和CO等；

2.2.7独立的抽真空系统：包含分子涡轮泵泵、机械泵以及真空规，同时搭配带触摸屏的PLC，极限真空优于5×10^-6 mbar；

2.2.8兼容Flag Type Sample Holder,方便今后扩展；

2.3、四极杆质谱仪

2.3.1安装法兰：DN40CF；

2.3.2测量范围：0-100amu；

2.3.3分辨率：优于1amu；

2.3.4 工作气压范围：10^-4 Torr ~超高真空；

2.3.5 灵敏度：2×10^-4 A/Torr；

2.3.6 操作温度：最大不小于70℃；

2.4、多功能进样仓

2.4.1超高真空腔体

2.4.1.1材质：符合超高真空标准的不锈钢；

2.4.1.2腔体：有符合超高真空要求的不同尺寸法兰口，可以连接分子泵，观察视窗等；

2.4.1.3橡胶圈密封快速进样门；

2.4.1.4配备超高真空视窗、法兰、手动闸板阀等；

2.4.1.5真空度：极限真空优于5×10^-8   mbar；

2.4.2超高真空抽气系统

2.4.2.1分子泵：80L/s抽速，DN63CF安装法兰；

2.4.2.2机械泵：5m³/h抽速；

2.4.2.3真空抽气管路及控制线；

2.4.2.4电磁控制安全阀和放气阀；

2.4.3超高真空测量系统

2.4.3.1真空规：测量范围5×10^-9 mbar   - 1×10³ mbar，包含控制线；

2.4.3.2真空规控制器：压力范围：大气压～超高真空 (1×10^-11   mbar)，测试通道≥6；

2.4.4样品停放台

2.4.4.1可同时停放不少于4个样品托；

2.4.4.2 CF35线性驱动，75mm行程；

2.4.4.3 CF16旋转驱动；

2.5定制单工位手套箱

2.5.1手套箱系统组成：手套箱箱体，大过渡舱，便捷型小过渡舱，气体净化系统，真空泵，水探头和氧探头，各1套；

2.5.2手套箱箱体

2.5.2.1箱体尺寸（长×宽×高）1200mm×750mm×900mm, 材质为SUS304不锈钢，厚度3mm；

2.5.2.2 箱体泄漏率≤0.02vol%/h，符合ISO 10648-2国际标准，必须提供详细的第三方检测报告，并提供厂家彩页或者官网截图证明；

2.5.2.3可拆卸的安全玻璃视窗，倾斜设计的操作面，钢化玻璃厚度8mm；

2.5.2.4两个铝合金手套口，由实心棒材加工而成，原色氧化；

2.5.2.5一副丁基橡胶手套；

2.5.2.6预留有四个KF40标准接口；

2.5.2.7配置有双层不锈钢搁物架；

2.5.2.8安全阀，保护设备和手套箱内材料；

2.5.2.9钢结构支架，高900mm，安装有万向脚轮；

2.5.3大过渡舱：尺寸Φ370×600mm，过渡舱可自动完成多次抽充程序；

2.5.4便捷型小过渡舱：尺寸Φ150×300mm，小过渡舱门特别设计，易操作，不易损坏；

2.5.5气体净化系统：主机系统采用模块化设计，包含PLC控制器、电路、循环泵、净化柱、操作面板，构成紧凑、简约，与手套箱通过波纹管和卡箍连接；

2.5.6水氧净化系统

2.5.6.1可得气体纯度：水<1ppm, 氧<1ppm；

2.5.6.2有机溶剂吸附装置，含活性炭颗粒吸附材料和吸附饱和后更换新材料；

2.5.6.3循环风机的启动和关闭可以由水氧含量自动控制；

2.5.6.4可手动监测手套箱泄漏率：用户可以手动对箱体的泄漏进行检测和报告泄漏率；

2.5.7真空泵：真空度可达2×10^-3mbar，抽速为12m³/h，配置原装油雾过滤器；

2.5.8水探头：检测范围0-1000ppm（可转化为ppm在触摸屏上显示)，精度0.2ppm；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，PLC集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上；

2.5.9氧探头：原装进口，检测范围0-1000ppm，精度0.2ppm；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，PLC集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上，氧探头为电化学燃料电池（不接受氧化锆材质）；

2.5.10真空接口：提供1个连接手套箱与多功能进样舱的超高真空接口。

2.6 研究级倒置荧光显微镜

2.6.1 研究级倒置显微镜主机

2.6.1.1显微镜镜体，双层光路，第一层接编码型8孔荧光激发块转盘，第二层可提供中间变倍体，提供更开放的试验平台;

2.6.1.2 电源线；

2.6.1.3 防尘罩；

2.6.1.4 物镜转换器：带编码6孔物镜转盘;

2.6.1.5 聚焦机构：备有聚焦机构同轴粗、微调旋钮（最小微调刻度单位：1μm），行程10mm，粗调旋钮扭矩可调，备有上限调节;

2.6.1.6 激发块转盘：编码型8孔位激发块转盘，无需拆卸可更换激发块;

2.6.1.7 光学系统：无限远校正光学系统，齐焦距离为国际标准45mm;

2.6.1.8透射光照明：白光LED光源, 透射光照明装置;

2.6.1.9 观察镜筒：双目观察筒;

2.6.1.10 精确定位功能手动载物台，具备XY锁定和复位功能；控制手柄扭力可调；尺寸：240mm(D) x   444.5mm(W)；移动范围Y≥75mm，X≥114mm;

2.6.1.11 聚光镜：5孔聚光镜；NA≥0.55；WD≥27mm。可以安装DIC、相称等配件;

2.6.1.12 物镜：4X万能平场半复消色差相差物镜（N.A≥ 0.13，W.D.≥17mm）、10X万能平场半复消色差相差物镜（N.A.≥0.3，W.D≥10mm）、20X长工作距离平场半复消色差相差物镜（N.A ≥0.45，W.D.6.6-7.8mm）、40X 万能超平场超级复消色差物镜（N.A≥ 0.95，W.D. ≥0.18mm，带校正环，色差校准范围不小于400-1000nm）；

2.6.1.13目镜：高眼点目镜，10×，视场直径：22，带屈光度校准。

2.6.2 反射荧光系统

2.6.2.1 荧光滤色镜盒：可装入≥8个滤色镜，无需拆卸可更换激发块，内置电动光闸；

2.6.2.2 荧光激发块：蓝色（B）、紫外（U），滤色镜均带有干涉镀膜；

2.6.2.3 光源：130W长寿命金属卤化物光源，冷光纤导入。

2.6.3 成像系统

2.6.3.1与显微镜同品牌彩色CMOS图像采集系统，至少1/1.2 英寸，至少达到2000万像素, 必须含致冷系统；可完成普通荧光、明场、极弱荧光等成像工作。有3CMOS模式，能采集到更加细腻的细节可以以60fps的速度实时显示1920×1200像素的无压缩高清图像；

2.6.3.2图像分析软件使用和显微镜同品牌最新版本，可方便的输入硬件信息即可实现添加标尺功能，从而显示图像的放大比例关系；   非常容易采集多色图像；多个单通道图像能自动采集,   然后自动合成透射光和荧光通道图像，显示荧光在细胞上的定位图像，方便显示多染标本的图像等；

2.6.3.3 电脑HP EliteDesk 800 G1TWR带RS232卡。

2.7 直流电流源

2.7.1电流输出范围：100fA-100mA；

2.7.2 输出阻抗：1014Ω；

2.7.3 点源存储量：65000；

2.7.4 数字I/O接口支持：RS-232，GPIB，Trigger Link。

2.8 霍尔效应卡

2.8.1高电阻率模式；

2.8.1.1 工作输入电压范围：-8V-+8V；

2.8.1.2 输入阻抗上限：>100TΩ；

2.8.1.3 输入偏置电流下限：<50fA (23℃)；

2.8.1.4 输入电压噪音：<10μV；

2.8.2低电阻率模式；

2.8.2.1 工作输入电压范围：-8V-+8V；

2.8.2.2 输入阻抗上限：>10GΩ；

2.8.2.3 输入偏置电流下限：<100pA (23℃)；

2.8.2.4 输入电压噪音：<50nV。

核心参数